高速扫描电子显微镜
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产品名称:
高速扫描电子显微镜
产品型号:
HEM6000
产品展商:
REANOW/雷若科技
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简单介绍
高速扫描电子显微镜采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
高速扫描电子显微镜 的详细介绍
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
高速扫描电子显微镜面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
图像采集速度
10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速电压
100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)
分辨率
1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE
视场大小
*大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场32*32 um²
样品台精度
重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
高速扫描驱动器
驻点时间10 ns/pixel，
*快采集速度2*100 M pixel/s
电子过滤系统
SE/BSE信号自由切换，
MIX成像信号比例可调
全静电高速偏转系统
可实现高分辨大场模式，
4 nm像素点*大视场达32*32 um²
样品台减速技术
降低入射电子落点电压，
同时提高回收电子的收集效率
产品优势
高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
应用案例
芯片（金属层）/ 116x / BSE / 120 ns
芯片（器件层） / 2000x / BSE / 40 ns
芯片（金属层）/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片（器件层） / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
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指标
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HEM6000
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常规场发射扫描电镜
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像素尺寸(单张)
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8192*8192
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像素点时间
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120 ns（点/行/帧平均数：6/2/1）
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800 ns
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像素大小
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16 nm
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拍摄总面积
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2 mm²
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拍摄总时间
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25分32秒
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>140分
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产品参数
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关键参数
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分辨率
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1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
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2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
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加速电压
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100 V~6 kV(减速模式)
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6 kV~30 kV(非减速模式)
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放大倍率
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66~1,000,000x
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电子枪类型
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高亮度肖特基场发射电子枪
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物镜类型
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浸没式电磁复合物镜
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样品装载系统
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真空系统
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全自动控制，无油真空系统
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样品监控
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样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头
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样品*大尺寸
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直径4英寸
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样品台
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类型
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电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台）
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行程
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X、Y轴：110mm；
Z轴：28mm；
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重复定位精度
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X轴：±0.6μm；
Y轴：±0.3μm；
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换样方式
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全自动控制
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换样时间
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＜15 min
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换样仓清洗
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全自动控制等离子清洗系统
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图像采集与处理
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驻点时间
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10 ns/pixel
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图像采集速度
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2*100 M pixel/s
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图像大小
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8K*8K
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探测器和扩展
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标配
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镜筒内混合电子探测器
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选配
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低角度背散射电子探测器
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镜筒内高角度背散射电子探测器
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压电驱动样品台
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高分辨大场模式
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样品仓等离子清洗系统
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6英寸样品装载系统
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主动减震台
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AI降噪；大图拼接；三维重构
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软件
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语言
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中文
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操作系统
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Windows
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导航
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光学导航、手势快捷导航
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自动功能
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自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
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